Maxon 直流電機(jī) 內(nèi)部多極轉(zhuǎn)子 

 精密正齒輪箱和行星齒輪箱針對(duì)maxon電機(jī)進(jìn)行調(diào)校。齒輪箱在出廠前便可完成與maxon自有電機(jī)的直接匹配。 電機(jī)主動(dòng)輪作為第一個(gè)減速級(jí)的輸入齒輪，并與電機(jī)軸固定連接。

晶圓的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

maxon EC flat

在半導(dǎo)體行業(yè)中，清潔度和精度 ，即使細(xì)小的灰塵或水滴都會(huì)破壞整個(gè)生產(chǎn)步驟。 

晶圓是一種使用硅等半導(dǎo)體材料制成的圓形薄片。 這些圓片構(gòu)成了集成電路的基礎(chǔ)，生產(chǎn)過程中須使用真空室環(huán)境。

晶圓支撐在三個(gè)引腳之上，每個(gè)引腳都可借助電機(jī)上下移動(dòng)，由此便構(gòu)成了一種三足式升降機(jī)，使位于其上的晶圓可在真空室內(nèi)向上移動(dòng)，并由位于上方的夾持系統(tǒng)夾取。

maxon無刷EC flat電機(jī)以及光學(xué)編碼器、制動(dòng)器和絲杠軸構(gòu)成晶圓升降高精度機(jī)電式驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。

maxon無刷EC flat無刷電機(jī)是薄型設(shè)計(jì)，直徑9.2 – 90mm，功率0.2 – 260W，性能優(yōu)異，該系列盤式電機(jī)帶有霍爾傳感器和內(nèi)置電子裝置。

Maxon 315170電機(jī)

EC 10 ?10 mm, 無刷, 8 Watt, 帶霍爾傳感器

額定功率: 8 W

外徑: 10 mm

電機(jī)長(zhǎng)度: 25.7 mm

額定轉(zhuǎn)矩（最大連續(xù)轉(zhuǎn)矩）: 1.74 mNm

額定電壓: 6 V

空載轉(zhuǎn)速: 49200 rpm

轉(zhuǎn)速常數(shù): 8340 rpm/V

換向器: mitHS

高溫高壓滅菌次數(shù): 0

Maxon 315171電機(jī)

EC 10 ?10 mm, 無刷, 8 Watt, 帶霍爾傳感器

額定功率: 8 W

外徑: 10 mm

電機(jī)長(zhǎng)度: 25.7 mm

額定轉(zhuǎn)矩（最大連續(xù)轉(zhuǎn)矩）: 1.63 mNm

額定電壓: 9 V

空載轉(zhuǎn)速: 52500 rpm

轉(zhuǎn)速常數(shù): 5920 rpm/V

換向器: mitHS

高溫高壓滅菌次數(shù): 0

Maxon 直流電機(jī) 內(nèi)部多極轉(zhuǎn)子