Physik Instrumente（PI）線性傳感器

PI(Physik Instrumente)在所有重要市場中都擁有自己的銷售和服務辦事處。此外，公司還在三大洲設置了納米計量測試裝置。PI Shanghai和PI USA擁有額外的發(fā)展和制造資源，可實現(xiàn)對定制設計規(guī)格的快速當?shù)胤磻?/p>

精密加工到數(shù)字與模擬控制電路，從亞納米級的電容位置傳感器到  的PICMA 壓電陶瓷促動器，PI已掌握全套關鍵技術，強大的技術實力推動著微米納米定位技術不斷地向前沿發(fā)展，也使得PI成為眾多高科技企業(yè)、較有名實驗室的合作伙伴。

N-565 帶線性編碼器實現(xiàn)  高精度

具有亞納米級編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進驅動器

N-565

具有  高精度的線性平臺

? 超高精度：  小位移為2納米，直接測

量PIOne編碼器的分辨率為0.5納米

? 長行程：13 毫米、26 毫米或52 毫米

? 關機后自鎖：節(jié)約能量，減少熱量產(chǎn)生

? PiezoWalk技術帶來長使用壽命和高可靠

性

? 緊湊型設計：寬為65毫米、高為20毫米

NEXACT參考級線性平臺

帶NEXACT

PiezoWalk驅動器的線性平臺可在長行程范圍內實現(xiàn)納米級高精度定位。其配置直接測量線性編碼器和交叉滾柱軸承

，可實現(xiàn)  高精度。

PiezoWalk技術：高分辨率、低磨損

PiezoWalk技術將壓電陶瓷促動器與壓電電機的技術優(yōu)勢結合在一起。PiezoWalk步進驅動器不僅能提供亞納米級分辨

率、較大的力和高剛性，而且根據(jù)其驅動原理，其還能實現(xiàn)理論上無限的行程。不同于其他壓電機動化驅動器原理，

PiezoWalk步進驅動器不受滑動摩擦作用的影響。其是基于幾個壓電陶瓷促動器的靜摩擦接觸，這幾個促動器沿一個

動輪步進。靜止狀態(tài)下，PiezoWalk步進驅動器自鎖，不消耗能量，無熱量產(chǎn)生。

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對測量數(shù)據(jù)進行相應處理后，可實現(xiàn)遠低于1納米的位置分辨率。此外，由于信號

周期短、信號質量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1 %。PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應。

應用領域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學或機械部件、半導體行業(yè)中的精密機械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動

化、有限空間內的應用、真空或無磁性環(huán)境中的應用。.

訂購信息

N-565.160

精密線性定位平臺，行程為13毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅動力為10牛，尺寸為65 × 80 ×

20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅動器

N-565.260

精密線性定位平臺，行程為26毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅動力為10牛，尺寸為65 × 110 ×

20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅動器

N-565.360

精密線性定位平臺，行程為52毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅動力為10牛，尺寸為65 × 160 ×

20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅動器

產(chǎn)品描述：

1. 緊湊型設計：表面63毫米×63毫米

2. 步進電機和閉環(huán)直流電機

3. 可選配線性編碼器用于直接位置測量

4. 交叉滾柱導軌

5. 非接觸式參考和限位開關

緊湊型Z向位移臺，用途廣泛

帶皮帶驅動的折疊驅動，Z向位移臺結構緊湊?？砂惭b在帶M6 50 毫米 × 50 毫米連接間距的線性平臺上（如L-406）。

位置測量

增量線性編碼器（可選配步進電機）
非接觸式光學參考和限位開關
 

交叉滾柱導軌

對于交叉滾柱導軌，滾珠導軌中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預載更小，這減少了摩擦并實現(xiàn)了更平滑的運行。交叉滾柱導軌還具有高導向精度和高負載能力的特征。力導向滾動體保持架防止保持架蠕變。

驅動器

兩相步進電機或閉環(huán)直流電機
空回補償型滾珠絲杠
 

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學編碼器以*的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

應用領域

研究, 半導體技術, 光子, 自動化

電機類型 :兩相步進電機/直流電機

工作溫度范圍 : 5 到 40°C

濕度 : 20%至80%相對濕度，無凝結

材料 : 陽極氧化鋁、鋼

質量 : 0.6千克

移動質量 : 0.18千克

電纜長度 ： 0.5米

連接

HD Sub-D 26針（公頭）（電機）
HD Sub-D 26針（公頭）（電機和編碼器）
 

*推薦控制器：

C-663·12單軸
SMC Hydra（雙軸）
帶C-663·12C885的C-885（多達20軸）
ACS模塊化控制器
 

德國PI Z向位移臺 L-306 緊湊型精密多軸組合

Physik Instrumente（PI）線性傳感器